本機(jī)器是一款帶CCD視覺(jué)系統(tǒng)的激光刻蝕設(shè)備,帶有視覺(jué)放大系統(tǒng)和輔助定位功能,可大幅提高刻蝕精度和刻蝕重復(fù)性,減少基片間刻蝕差異,適用于鈣鈦礦器件、OLED、ITO/FTO、柔性導(dǎo)電基底的高精度刻蝕劃線,也可用于其他薄膜的去除、劃線和硅片的切割等工作,可完成鈣鈦礦電池的P1/P2/P3/P4工序。
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★ CD視覺(jué)輔助定位系統(tǒng),定位與重復(fù)精度高;
★ 封閉式機(jī)柜,智能化設(shè)備,XY軸伺服驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)面;
★ 帶除塵除煙功能,避免激光對(duì)操作人員身體的危面。
激光功率 | 3W |
波長(zhǎng) | 355nm(納秒脈沖) |
壽命 | 2萬(wàn)小時(shí) |
頻率范圍 | 30-120KHz |
刻蝕范圍 | ≤130mm |
線寬 | 0.02mm |
CCD功能 | CCD視覺(jué)系統(tǒng) |
激光重復(fù)精度 | ±0.01mm |
速度 | 10000mm/s |
振鏡 | 進(jìn)口 |
軟件 | 兼容AutoCAD,Coredraw,Photoshop格式 |
環(huán)境要求 | 0-45℃,濕度≤90% |
冷卻方式 | 水冷 |
設(shè)備尺寸 | 1100mm*790mm*1730mm |
重量 | 約180KG |